孟永钢，清华大学机械工程学院研究员，控制理论与控制工程专业博士生导师。数值模拟在硬盘磁头和近场光刻系统设计中的应用，硬盘磁头在读写工作时依靠盘片高速旋转所产生的气体浮力保持磁头与盘片之间数纳米的间隙（也称为飞行高度），为了保证磁头的稳定飞行，必须基于稀薄气体润滑理论计算分析磁头滑块的飞行特性，以此为基础设计滑块的承载面结构。本文介绍运用 COMSOL 求解三类稀薄气体润滑的理论模型－修正雷诺方程、修正 N-S 方程和蒙特卡罗直接模拟及其在磁头设计中的应用。将磁头滑块设计加工成具有聚束功能的表面等离子体透镜，可以实现纳米图案的近场光刻，COMSOL 数值模拟在表面等离子体透镜的结构设计中也能发挥重要作用。